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MTI 數字式電容探頭

簡要描述:

MTI 數字式電容探頭的特點
● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130ºC -- 200ºC (也有高溫探頭,在下一頁有介紹)
● 連接頭的使用溫度范圍: -65ºC -- 85ºC
● 精度: 高于滿量程的±0.02% (當探頭和放大器經過和被測物校準后)
● 標準放大器濾波帶寬: 500Hz

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MTI 數字式電容探頭

 

 

MTI 數字式電容探頭

(標準規格的電容探頭以達到納米級別的分辨率并且有非常好的穩定性)

電容位移傳感器的應用

顯微鏡聚焦 „鏡頭的對準 „測量零件的外形 „測量零件的傾斜 „測量半導體硅片的厚度 „測量壓電平臺的位移 „測量振動 „測量電腦硬盤運行和厚度 „測量剎車盤的翹曲和厚度 „測量金屬板的厚度 „測量光伏晶圓

的特點

● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130ºC  -- 200ºC (也有高溫探頭,在下一頁有介紹)

● 連接頭的使用溫度范圍: -65ºC -- 85ºC

● 精度: 高于滿量程的±0.02% (當探頭和放大器經過和被測物校準后)

● 標準放大器濾波帶寬: 500Hz

● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel

● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬  Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程

● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%(在沒有經過校準的情況下互換)

● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭)

● 材料: 不銹鋼結構,內部沒有電子元器件

● 帶線纜的探頭,同軸電纜長度: 2.4m (可選延長線纜.)

 

型號       ASP-1-ILR

 

量程

2zui大擴展量程

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭長度L

 

zui小范圍

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

9.53

µm

1.270

ASP-2-ILR

50.8

10

5.08

1.55

2.84

9.53

2.540

ASP-5-ILR

127.0

10

12.70

2.49

3.96

9.53

6.350

ASP-10-ILR

254.0

10

25.40

3.53

5.54

9.53

12.700

ASP-20-ILR

508.0

4

50.80

5.00

7.92

9.53

25.400

ASP-50-ILR

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

9.53

63.500

ASP-100-ILR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

9.53

127.000

ASP-200-ILR

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

9.53

254.000

 

 

型號       ASP-25M-CTR

 

量程

2zui大擴展范圍

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭長度L

 

zui小范圍

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

9.53

mm

25.40

µm

1.270

ASP-50M-CTR

50.8

10

5.08

1.55

9.53

25.40

2.540

ASP-125M-CTR

127.0

10

12.70

2.49

9.53

25.40

6.350

ASP-250M-CTR

254.0

10

25.40

3.53

9.53

25.40

12.700

ASP-500M-CTR

508.0

4

50.80

5.00

11.13

25.40

25.400

ASP-1250M-CTR

1270.0

3

127.00

7.98

15.88

25.40

63.500

ASP-2500M-CTR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

25.40

127.000

 

 

產品型號       ASP-1-ILA

 

量程

2zui大擴展范圍

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭長度L

 

zui小范圍

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

9.53

µm

1.270

ASP-2-ILA

50.8

10

5.08

1.55

2.84

9.53

2.540

ASP-5-ILA

127.0

10

12.70

2.49

3.96

9.53

6.350

ASP-10-ILA

254.0

10

25.40

3.53

5.54

9.53

12.700

ASP-20-ILA

508.0

4

50.80

5.00

7.92

9.53

25.400

ASP-50-ILA

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

9.53

63.500

ASP-100-ILA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

9.53

127.000

ASP-200-ILA

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

9.53

254.000

 

   

 

型號       ASP-0.5-CTA

 

量程

2zui大擴展范圍

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭長度L

 

zui小范圍

µm

12.7

 

20

µm/V

1.27

mm

0.74

mm

6.35

mm

63.50

µm

0.635

ASP-25M-CTA

25.4

10

2.54

1.09

6.35

63.50

1.270

ASP-50M-CTA

50.8

10

5.08

1.55

6.35

63.50

2.540

ASP-125M-CTA

127.0

10

12.70

2.49

6.35

63.50

6.350

ASP-250M-CTA

254.0

10

25.40

3.53

6.35

63.50

12.700

ASP-500M-CTA

508.0

5

50.80

5.00

11.10

63.50

25.400

ASP-1250M-CTA

1270.0

3

127.00

7.98

15.88

63.50

63.500

ASP-2500M-CTA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

63.50

127.000

ASP-5000M-CTA

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

101.60

254.000

ASP-500-CTA

12700.0

1

1270.00

25.22

82.55

101.60

635.000

 

 

 

型號       ASP-1-PCA

 

量程

2zui大擴展范圍

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭長度L

 

zui小范圍

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

2.54

µm

1.270

ASP-2-PCA

50.8

10

5.08

1.55

2.84

2.54

2.540

ASP-5-PCA

127.0

10

12.70

2.49

3.96

2.54

6.350

ASP-10-PCA

254.0

10

25.40

3.53

5.54

2.54

12.700

ASP-20-PCA

508.0

4

50.80

4.98

7.92

2.54

25.400

ASP-50-PCA

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

2.54

63.500

ASP-100-PCA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

2.54

127.000

 

 

 

型號       ASP-1-PCR

 

量程

2zui大擴展范圍

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭直徑L

 

zui小范圍

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

2.54

µm

1.270

ASP-2-PCR

50.8

10

5.08

1.55

2.84

2.54

2.540

ASP-5-PCR

127.0

10

12.70

2.49

3.96

2.54

6.350

ASP-10-PCR

254.0

10

25.40

3.53

5.54

2.54

12.700

ASP-20-PCR

508.0

4

50.80

4.98

7.92

2.54

25.400

ASP-50-PCR

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

2.54

63.500

ASP-100-PCR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

2.54

127.000

ASP-200-PCR

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

5.08

254.000

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