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Article光譜共焦傳感器測量的精度微位移變化
更新時間:2017-10-23 點擊次數:1736次
光譜共焦傳感器測量的精度微位移變化
光譜共焦傳感器的工作原理,由光源射出一束寬光譜的復色光(呈白色),通過高色散的物鏡發生光譜色散,此種物鏡對不同波長的光的焦點,在一條軸線上形成一系列不同波長的單色光,每一個波長都對應一個到被測物體的距離值。物體表面將照射光反射回來,通過共聚焦小孔過濾,只有滿足共焦條件的單色光,可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計算被感測到的波長,換算獲得距離值。軸向和水平方向的分辨率都可達到微米或者亞微米量級。
光譜共焦傳感器是基于一個創新的光學原理,利用空間的色散光譜,光譜共焦位移傳感器可以對幾乎任何材料進行高精度的測量。
光譜共焦傳感器應用
微位移、微形變高精度測量
超高線性度,可以作為傳感器的標定使用。
通過長度測量可以測量計算難以獲取的微小應變。
純光學測頭,不會受到強磁干擾,無溫度散發,可以在真空中使用。
光譜共焦傳感器在線檢測
高測量速度和開放的接口,可以應用于生產線相關的檢測或控制系統。
光譜共焦原理具有超高的耐表面性,高光潔表面也可以穩定檢測。
側視測量,可以測量zui小直徑7mm的微孔側壁形貌。
光譜共焦傳感器測振計
高速的測量頻率和納米級的分辨率,可以應用在物體的振動測量。
光譜共焦傳感器厚度測量
的色散共焦成像原理可以測量透明材料的厚度,具有*的度。
另外,非常值得推薦的光譜共焦傳感器的應用是測量多層透明材料的厚度。與其他測量方法不同,光譜共焦傳感器在測量這種物體時,僅需要一支探頭就可以完成測量。測量被測物體前端面和后端面的反射光,從而得到層厚信息。
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